浙江创芯获得炉管的真空抽气体系专利提高了炉管的作业效率

  金融界2024年12月7日音讯，国家知识产权局信息数据显现，浙江创芯集成电路有限公司获得一项名为“一种炉管的真空抽气体系、以及半导体制作设备”的专利，授权公告号CN 222104407 U，请求日期为2024年3月。

  专利摘要显现，本请求施行例供给了一种炉管的真空抽气体系、以及半导体制作设备，所述炉管的真空抽气体系包含：衔接于炉管的真空抽气接口的榜首管道，以及第二管道；与榜首管道衔接的至少一个主真空泵；与第二管道衔接，在所述主真空泵反常时启用的至少一个备用真空泵；与所述主真空泵和所述备用真空泵相电气衔接的控制器。本请求施行例供给的炉管的真空抽气体系，为保证炉管的正常作业供给根底，提高了炉管的作业效率。